BUILDING HYGINENE CONTROL
建物衛生管理
関連法規/基準項目および基準値 （清掃区域の清掃度測定）
■米国航空宇宙局NASA規格（NHB5340.2）
■クリーンルームの空気清浄度の評価方法 （JIS B 9920）
■米国連邦規格（FED-STD-209D）
米国航空宇宙局NASA規格（NHB5340.2）
| バイオクリーンルーム清浄度クラス | 微粒子 | 微生物 | ||
| 粒径 μ | 累積粒子数 個/ft3（個/L） | 浮遊菌 個/ft3（個/L） | 落下菌 個/ft2-week（個/m2） | |
| 100 | ≥0.5 | ≥100（≥3.5） | ≥0.1（0.0035） | 1,200（12.900） |
| 10,000 | ≥0.5 | ≥10,000（≥350） | ≥0.5（9.9176） | 6,000（64.600） |
| ≥5.0 | ≥65（≥2.3） | |||
| 100,000 | ≥0.5 | ≥100,000（≥3,500） | ≥2.5（0.0884） | 30,000（323.000） |
| ≥5.0 | ≥700（≥25） | |||
クリーンルームの空気清浄度の評価方法 （JIS B 9920）
| 清浄度クラス（N） | 上限濃度（個／m3） | |||||
| 測定粒径 | ||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| クラス1 | 10（101） | 2 | – | – | – | – |
| クラス2 | 100（102） | 24 | 10 | 4 | – | – |
| クラス3 | 1,000 （103） | 237 | 102 | 35 | 8 | – |
| クラス4 | 10,000（104） | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | – |
| クラス5 | 100,000（105） | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
| クラス6 | – | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 83,200 | 2,930 |
| クラス7 | – | – | – | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
| クラス8 | – | – | – | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
| クラス9 | – | – | – | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 |
米国連邦規格（FED-STD-209D）
| クリーンルームクラス | 微粒子 | 圧力 | 温度 | 湿度 | 気流/ 換気回数 |
照度 lux | |||||
| 粒径 μ | 累積粒子数個/ft3 | mmAq | 範囲 ℃ |
推奨値 ℃ |
誤差 ℃ |
最高 % | 最低 % |
誤差 ℃ |
|||
| 100 | ≥0.5 | ≥100 | 1.25以上 | 19.4 ～ 25 | 22.2 | ±2.8 特別には ±0.28 | 45 | 30 | ±10特別には±5 | 層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 乱流方式 ≥20回/時 |
1,080 ～ 1,620 |
| 1,000 | ≥0.5 | ≥1,000 | |||||||||
| ≥5.0 | ≥7 | ||||||||||
| 10,000 | ≥0.5 | ≥10,000 | |||||||||
| ≥5.0 | ≥65 | ||||||||||
| 100,000 | ≥0.5 | ≥100,000 | |||||||||
| ≥5.0 | ≥700 | ||||||||||