BUILDING HYGINENE CONTROL

建物衛生管理

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関連法規/基準項目および基準値 (清掃区域の清掃度測定)

■米国航空宇宙局NASA規格(NHB5340.2)
■クリーンルームの空気清浄度の評価方法 (JIS B 9920)
■米国連邦規格(FED-STD-209D)

 

米国航空宇宙局NASA規格(NHB5340.2)

 

バイオクリーンルーム清浄度クラス 微粒子 微生物
粒径 μ 累積粒子数 個/ft3(個/L) 浮遊菌 個/ft3(個/L) 落下菌 個/ft2-week(個/m2)
100 ≥0.5 ≥100(≥3.5) ≥0.1(0.0035) 1,200(12.900)
10,000 ≥0.5 ≥10,000(≥350) ≥0.5(9.9176) 6,000(64.600)
≥5.0 ≥65(≥2.3)
100,000 ≥0.5 ≥100,000(≥3,500) ≥2.5(0.0884) 30,000(323.000)
≥5.0 ≥700(≥25)

クリーンルームの空気清浄度の評価方法 (JIS B 9920)

 

清浄度クラス(N) 上限濃度(個/m3)
測定粒径
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
クラス1 10(101) 2
クラス2 100(102) 24 10 4
クラス3 1,000 (103) 237 102 35 8
クラス4 10,000(104) 2,370 1,020 352 83
クラス5 100,000(105) 23,700 10,200 3,520 832 29
クラス6 237,000 102,000 35,200 83,200 2,930
クラス7 352,000 83,200 2,930
クラス8 3,520,000 832,000 29,300
クラス9 35,200,000 8,320,000 293,000

 

米国連邦規格(FED-STD-209D)

 

クリーンルームクラス 微粒子 圧力 温度 湿度 気流/
換気回数
照度 lux
粒径 μ 累積粒子数個/ft3 mmAq 範囲
推奨値
誤差
最高 % 最低
%
誤差
100 ≥0.5 ≥100 1.25以上 19.4 ~ 25 22.2 ±2.8 特別には ±0.28 45 30 ±10特別には±5 層流方式 0.45m/s ±0.1m/s
乱流方式
≥20回/時
1,080 ~ 1,620
1,000 ≥0.5 ≥1,000
≥5.0 ≥7
10,000 ≥0.5 ≥10,000
≥5.0 ≥65
100,000 ≥0.5 ≥100,000
≥5.0 ≥700